近日,年產(chǎn)100噸半導體無塵車間高端光刻材料項目奠基儀式在合肥市新站高新區(qū)舉行,投產(chǎn)后將實現(xiàn)光刻膠關(guān)鍵材料的本地化供應(yīng)對新站區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展具有重要意義。
該項目位于新站高新區(qū)潁州路與龍子湖路交口,占地面積共50畝,總投資3億元,旨在打造國內(nèi)最大的高端半導體DUV級別(ArF/KrF)的光刻膠核心主材料量產(chǎn)基地。產(chǎn)品包括光致產(chǎn)酸劑PAG、BARC層樹脂Resin、光引發(fā)劑PI等,同時也提供每個最終產(chǎn)品的中間體及核心單體材料,規(guī)劃建設(shè)年產(chǎn)能100噸,將于年底竣工并投入使用。
近年來,新站高新區(qū)持續(xù)培養(yǎng)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),從“屏”開始,從“芯”出發(fā),逐漸形成了“2+5”產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。
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