半導(dǎo)體晶圓廠潔凈車間設(shè)計(jì)建設(shè)布局指標(biāo)要點(diǎn)
2022-02-21
潔凈車間最主要的作用就在其能控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)。在晶圓車間中,為了解決晶圓測(cè)試中良率不佳、測(cè)試結(jié)果不穩(wěn)定,探針測(cè)試卡的損毀及晶圓的報(bào)廢這些問(wèn)題,潔凈室及輔助室的設(shè)計(jì)就該是廠區(qū)建設(shè)的首要任務(wù)之一
查看更多